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他们共创装备“芯”未来
来源:新闻中心
发布时间:2021年03月18日 编辑:杨晓艾

  离子注入机是集成电路制造的核心装备。为实现离子注入机全谱系产品国产化,电科装备烁科中科信组建了技术实力过硬、专业能力过人的离子注入机验收验证团队,他们“牢牢稳住中束流,积极拓展大束流,稳步推进高能机和特种机”,持续发力不放松,掀起了中国“芯”浪潮。

  

  牢牢稳住中束流 跑出调试加速度

  “机台调试进度还能不能加快?马上就要出机了”,“能!”。面对中束流激增的订单以及客户的急迫需求,只有四个人的调试组要在一个月内完成厂内调试及客户端验收的重任,中束流调试主管杨占光对此给出了肯定的回答。

  调试对上承接制造装配,对下承接工艺验证,是机台批量化制造的关键一环。因此,调试人员需要非常专业,“样样通,样样精”,只有这样才能精准诊断机台的“病灶”,有的放矢,做到“标本兼治”。自立下军令状以来,调试组全员便提前介入装配环节,确保及时发现问题,把工作做到最前。

  时间不够,那就在有限的时间里提高工作效率。调试组成员通过每日统计机台现状,针对性部署第二天工作重点,井然有序去解决机台遇到的大大小小的问题;简化调试作业指导书,由之前14大章节整合为8大章节;进一步优化调试步骤及顺序,大幅缩短调试周期;形成问题早发现、流程再优化、调配再提速的工作模式,实现中束流机台最快23天即可完成设备功能验证的任务。

  在组长杨占光的带领下,团队成员始终坚信“多发现一项问题,设备稳定性更好一分;多调一分钟,客户满意度就会更提升一分”,他们凭借着过硬的专业能力,成功兑现了牢牢稳住中束流的承诺。

  积极拓展大束流 女将挂帅促突破

  面对大束流机台经验欠缺、功能不完善、专业人员少的现实情况,张蕊作为大束流工艺主管,女将挂帅,巾帼不让须眉,带领工艺团队冲锋在前。

  首台大束流离子注入机的研发验证对烁科中科信的产品布局至关重要。工艺团队成立之初,人手压力极大,张蕊一边与机台技术组沟通讨论机台工艺难题,一边协调团队成员解决现场问题,并且主动参与24小时的客户端值班,全面保障机台的验收进程??突Ч径越拥娜嗽闭庋兰鬯?,“张工很敬业,差不多以客户端为家了?!?/p>

  “客户门口的台阶是我们的专用‘会议桌’”,张蕊时常这样调侃。在客户处值班结束后,门口的台阶成为了工艺团队的会议厅,坐在台阶上汇总一天的工作情况,将数据及时记录,将问题实时反馈,这便是团队人员的日常。

  奋斗的汗水浇灌出了宝贵的工艺测试数据和产品生产经验。首台大束流离子注入机顺利完成客户端验收验证的捷报传来,为后续大束流机台的研发和验证奠定了坚实的基础,女将张蕊打了一个漂亮的“翻身仗”?!八械母冻龆际侵档玫?,随着机台性能和稳定性的提升,烁科中科信国产机台会越做越好”,张蕊一直这样坚信。

  稳步推进高能机 创造条件齐发力

  “12英寸高能离子注入机整机主要功能模组集成已经完成啦!”一声欢呼从研发中心传来。高能机作为离子注入机研发领域的“珠穆朗玛峰”,研发难度极高,为啃下这块“硬骨头”,团队成员以“不服输”的态度,在技术研发的关键阶段滚石上山,爬坡过坎。团队成员攻关的秘诀就是“没有条件,创造条件也要上!”。

  由于国内外可参考的文献较少,缺乏关键性资料,诸多设计都需要从零开始,团队成员早就做好了在技术研发的“无人区”孤独探索的准备。

  超过20次的论证修改,高能机的设计图纸渐渐完善。长达3个月,近20次的实验,基础??樯杓拼罱ㄍ瓿?,首战告捷;一月无休,换来了射频加速真空平台设计的自主搭建,相关实验结果与理论计算结果较好符合,第二战全胜;射频加速系统带束流平台成功搭建,实现了设计??榇恿愕揭坏耐黄?,第三战完胜。

  12英寸高能离子注入机整机主要功能模组集成标志着离子注入机全系列产品格局将打造完成!这极大的增长了大家的士气。

  高端集成电路制造装备是国之重器,他们将继续着力提高关键核心技术创新能力,在集成电路大产线、三代半导体产线以及材料制备领域集中发力,大力推进离子注入机产业化进程。

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