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李婷:为高端集成电路装备国产化而奋斗
来源:新闻中心
发布时间:2021年03月11日 编辑:杨晓艾

  近日,由电科装备烁科精微自主研发的300mm CMP设备Skylens机台顺利发往客户,该设备荣获“集团公司2020年度十大科技进展”奖,也是公司面向国家战略需求,打造全生态CMP研发产业化平台最为关键的一步。

  

  看着设备渐渐驶出大门,烁科精微总经理李婷来不及庆祝便匆忙赶往机场,搭上最早抵达客户现场的飞机,去进行工艺调试。

  迎难而上 始终奋战一线

  阴晴冷暖、夏蝉冬雪、晨暮交替的时光片段中,都是李婷忙碌的身影。

  首台200mm CMP设备推入生产线验证之初,正是李婷身怀六甲之时,然而她不顾特殊时期的身体不适,一头扎进马拉松实验现场,与工艺工程师们一同分析工艺数据,与机械、软件同事一同开会讨论新结构、新功能,始终坚持与员工并肩奋斗,站在设备研发调试的最前线!白天技术会议不断,往往等到口渴难耐时,已是深夜。

  北京冬天的凌晨很冷,但是目标和理想是热忱的。

  “那个时候家人很担心我的身体,毕竟月份已经很大了,医生也要求我不能熬夜和过于忙碌,但是没办法,产线验证正在关键时期,倾注了上级领导及全体同事心血的项目必须完美完成,任务重、时间节点紧,咬咬牙得挺住?!崩铈迷频缜岬亟彩鲎拍嵌喂?。

  收获回报 不忘初心踏征程

  值得欣喜的是,努力没有白费,付出终得回报,首次产线验证非常成功,倍受客户认可!如今200mm CMP设备已获得多家国内龙头晶圆代工厂的重复订单,并进入了国际采购清单,被芯片制造知名企业评为唯一国外产品替代率100%的国产设备。

  但李婷并没有停止奋斗的步伐,她向着300mm CMP设备研发的征程继续奋进。

  经过不懈奋斗,300mm CMP设备日前已顺利发往客户,这是高端集成电路装备国产化的重要一步。作为技术专家出身的李婷,依托深厚的技术背景和行业经验,将继续带领团队肩负起300mm CMP设备产业化的重任。

  “空中飞人” 女儿心中的“加班狂”

  近两年来,李婷的足迹已踏遍天南海北,哪里有需求,哪里就有李婷的身影。

  “有段时间跑上??突?,我总是早上搭最早的航班去上海,晚上再搭当日最晚的航班回北京,有一次下飞机后突然很恍惚,分不清自己是在北京还是上海,也分不清是早晨还是深夜了?!?/p>

  “记得女儿刚学会说话的时候,有一次我逗她说‘小姑娘最喜欢喝奶奶’,女儿回说‘妈妈最喜欢上班班’,听完的一刹,我很愧疚,女儿她那么小,那么需要母亲的陪伴,但是我却常常只能趁她熟睡时狠心离去?!?/p>

  说着说着,李婷别过头擦了擦眼角的泪。

  “作为总经理,公司的很多决策性工作也需要我,所以在见客户的空隙,我见缝插针,处理公司事务,只有飞机上必须飞行模式的时候才能稍作休息,但是飞机一落地就会发现有很多条微信和邮件待阅,忙是真的忙,但是想到自己做的事是对国家、民族有贡献的,就觉得再辛苦也值得?!崩铈眯θ蓦锾?,目光坚定。

  高端集成电路装备国产替代征途漫漫,任重而道远。有无数个寂静的夜晚,大家总能看到一束光、一盏灯、一个人,她有着使不完的劲儿,默默坚守心中的信仰,感召着电科装备烁科精微的同仁们奋勇向前,砥砺前行!

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